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三星率先為DRAM晶片導入EUV明年將用於DDR5/LPDDR5大規模量產
當前在晶片製造中最先進的EUV（極紫外光刻）工藝被三星率先用到了DRAM記憶體顆粒的生產中。
韓國巨頭三星宣布已出貨100萬第一代10nm EUV級（D1x）DDR4 DRAM模組，並完成全球客戶評估，這為今後高階PC、手機、企業級伺服器等應用開新大門。
得益於EUV技術，可在精度更高的光刻中減少多次圖案化的重復步驟，並進一步提升產能。
三星表示從第四代10nm級（D1a）DRAM或高端級14nm級DRAM開始全面導入EUV，明年基於D1a大規模量產DDR5和LPDDR5記憶體晶片，預計會使12英寸晶圓產率增大。
不過目前支援DDR5的PC平台尚未亮相，LPDDR5倒已逐漸開張。三星量產的第一代EUV DDR5 DRAM單晶片容量為16Gb（2GB），地點是平澤市的V2線。
根據三星之前的預估，EUV會幫助推進到3nm尺寸。
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